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DVIA-U模塊化主動隔振平臺

DVIA-U系列
主動隔振底座和桌面平臺

 

 

經(jīng)濟有效
DIVA-UB,主動隔振基座平臺設計用于以最經(jīng)濟有效的方式將掃描電子顯微鏡與地面振動隔離。

 

符合人體工程學的辦公桌服務各種應用

 

DIVA-UD主動隔振臺平臺設計用于將超精密儀器與低頻振動隔離。 人體工程學設計使用戶可以舒適地執(zhí)行要求最苛刻的應用。 另外,桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳,使用戶可以將桌子放在所需的位置。

 

沒有空氣

DVIA-U系列不需要氣源來操作系統(tǒng)。 隔離器單元中的強力金屬彈簧不僅支撐重型有效載荷,還為高頻振動提供出色的被動隔振。

 

具有高分辨率的納米成像

 

 

如上圖所示,如果用戶由于振動而遇到模糊的圖像,則需要使用帶有DVIA-UB的SEM來獲得高分辨率的圖像。

 

克服了被動隔振系統(tǒng)的局限性

 

由于主動隔振系統(tǒng)不具備固有頻率,因此主動隔振系統(tǒng)可以降低1-10 Hz的低頻振動,其中低頻振動會嚴重干擾納米級成像。 另一方面,無源隔離系統(tǒng)由于其固有頻率而放大低頻振動。

 

控制亞赫茲振動
DVIA-U非常有效地將超精密儀器與1-10 Hz的環(huán)境振動隔離,振動敏感的精密儀器趨向于不穩(wěn)定和破壞性,無法產(chǎn)生最佳結(jié)果。 DVIA-U在0.6 Hz時開始隔離,在10 Hz時提供±99%的振動隔離。

反饋和前饋算法

 DVIA-MB使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負載基座的振動,并即時作出反應,以實時最小化振動。 DVIA-MB采用前饋系統(tǒng),以預定義的方式濾除地面振動。

 

 

控制所有六個自由度的振動

安裝在主動隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個平移運動(X,Y和Z)以及三個旋轉(zhuǎn)運動(俯仰,滾轉(zhuǎn)和偏航)來檢測和控制振動。

 

每個安裝地點都有不同的振動級別,表明每個安裝地點都需要調(diào)整。 因此,我們提供現(xiàn)場調(diào)試,以有效地利用反饋和前饋控制系統(tǒng),這是控制1-10 Hz范圍振動的關(guān)鍵因素。 沒有調(diào)整,主動隔離系統(tǒng)不能提供最佳的主動隔離性能。

 

應用領(lǐng)域

掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、特高壓掃描隧道顯微鏡、干涉、其他高精度儀器

 

 

 


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