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DC 980Pro（自動(dòng)背壓）
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電解水制氫測(cè)試與二氧化碳還原
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美國(guó)IBSS 等離子清洗
美國(guó)IBSS 等離子清洗
美國(guó)ibss公司由Vince Carlino成立于2002年，該公司持續(xù)致力于等離子清洗設(shè)備的開發(fā)，特別是針對(duì)電子束等易產(chǎn)生積碳應(yīng)用場(chǎng)景下等離子清洗設(shè)備的開發(fā)，其專利的DownStream技術(shù)能夠保證等離子體中不含電荷或離子態(tài)的物質(zhì)存在，從而可以最大程度降低等離子體對(duì)樣品表面的損傷，同時(shí)能夠保證線性清洗效果，從而滿足定量去除制樣的需求。
該公司產(chǎn)品全球銷售總量超過(guò)1000臺(tái)，中國(guó)地區(qū)知名用戶如：北京大學(xué)、上海光源、SMIC、YMTC/XMC、TSMC、Infineon等。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1、采用專利DownStream設(shè)計(jì)，等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質(zhì)，防止對(duì)樣品表面的濺射損傷；
2、ICP誘導(dǎo)激發(fā)等離子體，等離子體量大，且作用范圍廣；
3、可同時(shí)清洗3根透射電鏡樣品桿，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿；
4、采用Qwk-Switch快接口設(shè)計(jì)，等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進(jìn)行在線清洗，一機(jī)多用；
5、清洗功率范圍：10W-99W，樣品清洗艙大?。?/span>7英寸（φ） X 7英寸（H）；
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；
7、配備真空探測(cè)系統(tǒng)，可設(shè)定真空范圍自動(dòng)進(jìn)行清洗；
8、清洗速率：1.5nm/min@30W, 清洗去除為線性模式，可定量化去除污染 。
美國(guó)IBSS 移動(dòng)式等離子體清洗機(jī)
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1、采用專利DownStream設(shè)計(jì)，等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質(zhì)，防止對(duì)樣品表面的濺射損傷；
2、ICP誘導(dǎo)激發(fā)等離子體，等離子體量大，且作用范圍廣；
3、可同時(shí)清洗3根透射電鏡樣品桿，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿；
4、采用Qwk-Switch快接口設(shè)計(jì)，等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進(jìn)行在線清洗，一機(jī)多用；
5、清洗功率范圍：10W-99W，樣品清洗艙大小：7英寸（φ） X 7英寸（H）；
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；
7、配備真空探測(cè)系統(tǒng)，可設(shè)定真空范圍自動(dòng)進(jìn)行清洗；
8、清洗速率：1.5nm/min@30W, 清洗去除為線性模式，可定量化去除污染